簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="類鑽探膜"


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    利用電子迴旋共振與射頻混成電漿化學氣相沉積系統製備氮摻雜類鑽石碳薄膜
    • /106/ 碩士
    • 研究生: 陳柏霖 指導教授: 柯文政
    • 類鑽碳膜(Diamond-like carbon, DLC)具有高硬度、高絕緣性、高生物相容性、高化學惰性和導熱性等優點。本研究中,使用ECR電漿與RF電漿組成之混成式電漿化學氣相沉積系統( Hyb…
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